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隨著科技的快速發(fā)展,污染源類(lèi)型日益呈現(xiàn)出多元化、動(dòng)態(tài)化的特征。在潔凈室環(huán)境中,氣態(tài)分子污染物(AMC)已成為繼空氣懸浮粒子之后又一個(gè)影響環(huán)境質(zhì)量的關(guān)鍵因素。潔凈室內(nèi)存在各種AMC的釋放源,其污染物釋氣對(duì)潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的質(zhì)···
查看詳情在半導(dǎo)體制造工藝中,生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度有著極高要求,即便是納米級(jí)的氣態(tài)分子污染物(AMC)也會(huì)對(duì)制程造成干擾,導(dǎo)致產(chǎn)品良率顯著下降。因此,使用實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)已成為半導(dǎo)體工業(yè)質(zhì)量控制體系中至關(guān)重要的技術(shù)保障環(huán)節(jié)。傳統(tǒng)的分析方法···
查看詳情億天凈化PTFE板式高效過(guò)濾器采用性能優(yōu)異的PTFE濾紙為原材料,熱熔膠為濾料的分隔物制成的新型過(guò)濾器,其過(guò)濾效率范圍廣,能滿足H13-U16@EN1822,通常可搭配FFU和送風(fēng)口等送風(fēng)裝置使用,廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、生物制藥、數(shù)據(jù)中心等行···
查看詳情在現(xiàn)代高科技產(chǎn)業(yè)和精密制造業(yè)中,產(chǎn)品質(zhì)量往往與生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度息息相關(guān),所以需要大量的空氣過(guò)濾器提供潔凈的空氣。而即使是相同級(jí)別的過(guò)濾器,不同廠商生產(chǎn)的效率和能耗是有區(qū)別的,質(zhì)量不好的過(guò)濾器,阻力大,空氣過(guò)濾系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)所···
查看詳情FFU(Fan Filter Unit)是一種風(fēng)機(jī)與過(guò)濾器組合的設(shè)備,也被稱(chēng)為“自帶風(fēng)機(jī)的過(guò)濾單元”。FFU通常安裝在潔凈室的送風(fēng)末端,一般放置在吊裝的龍骨框架上,F(xiàn)FU上部分為風(fēng)機(jī)模塊,下部分為過(guò)濾器,根據(jù)潔凈度的要求,過(guò)濾器可應(yīng)用高效(HEPA)或···
查看詳情在電子半導(dǎo)體廠中對(duì)局部微環(huán)境實(shí)施高度凈化是非常重要的。微環(huán)境基于隔離技術(shù)原理,工廠內(nèi)的加工、儲(chǔ)存和運(yùn)輸過(guò)程在晶圓附近提供完整的環(huán)境控制。完全整合的微環(huán)境包括:一個(gè)微環(huán)境外殼將制程環(huán)境或機(jī)臺(tái)與環(huán)境潔凈室和人員隔開(kāi),用于自動(dòng)···
查看詳情AeroTrak?便攜式粒子計(jì)數(shù)器9110型9110型高靈敏度粒子計(jì)數(shù)器,它能精確測(cè)量0.1μm的粒子,粒徑范圍為0.1至10 μm,可同時(shí)檢測(cè)多達(dá)八個(gè)通道(0.10, 0.15, 0.20, 0.25, 0.30, 0.50, 1.0, 5.0 μm)的粒子數(shù)據(jù),1.0 CFM (28.3 L/min)流速,···
查看詳情潔凈室為電子半導(dǎo)體、生物制藥、航空航天、醫(yī)療疾控、實(shí)驗(yàn)室、新能源等精密化、微型化的高端先進(jìn)制造業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)提供了一個(gè)高度潔凈的環(huán)境,確保企業(yè)在生產(chǎn)過(guò)程中的環(huán)境條件符合特定的潔凈度標(biāo)準(zhǔn),這對(duì)于企業(yè)的長(zhǎng)足發(fā)展至關(guān)重要,主要體現(xiàn)···
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